氣動量儀是在19世紀20年代末出現(xiàn)的。在西方，1928年，法國人梅納遜（Menneson）在比利時王國申請了氣動量儀**。而蘇聯(lián)則聲稱在1926年之前已經(jīng)開始采用氣動測量方法了。*早的氣動量儀是低壓水柱式的，它被用于汽車零件的檢測，如氣缸體的孔徑和噴油嘴的測量。以后逐漸在德國、法國得到了普遍的應(yīng)用。

    美國*早也使用低壓水柱式氣動量儀，鑒于這種量儀在使用上有種種缺點，于是進行了中、高壓氣動量儀的研究。隨著高性能的中高壓空氣穩(wěn)壓器的出現(xiàn)，終于從1940年前后開始進行高壓量儀的實用研究和開發(fā)，隨后作為生產(chǎn)現(xiàn)場用量儀在美國得到了推廣和普及。從此在美國，除了實驗室之外，低壓水柱量儀基本上不再被應(yīng)用了。特別是在1941年Sheffidld公司發(fā)展作出了很大的貢獻。在多參數(shù)測量中，大多采用這種氣動量儀。

    隨后，F(xiàn)ederal公司研制成差壓式指針型氣動量儀。這種量儀具有發(fā)訊號電接點，可以用于自動測量。