氣動量儀的數(shù)據(jù)誤差有兩種表示方法：用數(shù)值表示，即用測量值與具體值的差值表示，這種方法表示的偏差的原因稱為誤差；比率表明，這種方法所表示的偏差的原因稱為相對偏差。比如用氣動量儀測量長度，較大的相對偏差為萬分之一，這說明在要求的標(biāo)準(zhǔn)下，測量一米長度的偏差原因不應(yīng)超過0.1微米。

氣動量儀的測量結(jié)果與測量長度的真實值之間的一致性水平表明。它是準(zhǔn)確度和精密度的綜合，俗稱精準(zhǔn)度。如果系統(tǒng)誤差已經(jīng)過調(diào)整，則用普通不確定度表示。氣動量儀的測量不確定度是指由于數(shù)據(jù)誤差導(dǎo)致測量值不能處于一個不容置疑的水平，其大小用相對標(biāo)準(zhǔn)偏差表示。

在氣動量儀的測量中，個人多次測量被測長度后得到的數(shù)據(jù)信息，往往取算術(shù)平均值作為測量結(jié)果。那是因為根據(jù)概率論的大數(shù)定律，如果測量頻率足夠，精度是可以提高的。整個測量過程中隨機偏差的發(fā)生大多遵循標(biāo)準(zhǔn)正態(tài)分布規(guī)律。

此外，氣動量儀還有數(shù)據(jù)處理方法，對測量個體獲得的數(shù)據(jù)信息進(jìn)行數(shù)學(xué)運算，以獲得所需的測量結(jié)果。比如用氣動量儀測量同心度時，立即得到的數(shù)據(jù)信息是某個相對中心點的半翹變化，所以只有將同心度定義為相對函數(shù)計算，才能得到同心度偏差的原因。