氣動(dòng)量儀數(shù)據(jù)誤差的表明方法有二種：以數(shù)值表明，就是以測定得數(shù)值與具體值之差表明，以這類方法表明的出現(xiàn)偏差的原因稱之為誤差；以比率表明，就是以誤差與具體值之比表明，以這類方法表明的出現(xiàn)偏差的原因稱之為相對(duì)偏差，比如用激光干涉儀測長時(shí)，與其較大 相對(duì)偏差為千萬分之一，則表明在要求標(biāo)準(zhǔn)下，測量一米長短的出現(xiàn)偏差的原因應(yīng)不超0.1微米。

氣動(dòng)量儀測量結(jié)果與被測長短真值的一致水平以表明。它是正確度和精度的綜合性，一般通稱為精密度。若已調(diào)整系統(tǒng)誤差，則常見不確定度來表明。不確定性氣動(dòng)量儀測量度表明因?yàn)榇嬗袛?shù)據(jù)誤差而對(duì)所測量值不可以毫無疑問的水平，以相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差表明其尺寸。

氣動(dòng)量儀測量中，常把數(shù)次測量被測長短后個(gè)人所得的數(shù)據(jù)信息取算數(shù)平均值做為測量結(jié)果。那是由于依據(jù)摡率論的大數(shù)定律，假如測量頻次充足多，那么就可以提升 精度。測量全過程中隨機(jī)偏差的出現(xiàn)，大部分是遵照標(biāo)準(zhǔn)正態(tài)分布規(guī)律性的。

除此之外，氣動(dòng)量儀也有對(duì)測量個(gè)人所得數(shù)據(jù)信息開展數(shù)學(xué)運(yùn)算以獲得所需測量結(jié)果的數(shù)據(jù)處理方法。比如，用氣動(dòng)量儀量同心度，立即得到的數(shù)據(jù)信息是相對(duì)性某一圓心點(diǎn)的半經(jīng)轉(zhuǎn)變，因而須按同心度界定作相對(duì)的涵數(shù)計(jì)算才可以獲得同心度出現(xiàn)偏差的原因。